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MSI-100-HV生产型磁控溅射设备是针对企业和高校实验室以及小试线研发的高性能、低成本和高效率的磁控溅射装备。它采用简单可靠的模块化设计,包括进样室和溅射室,可满足8inch晶圆上纳米级材料的生产
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1962 | 安徽 |
原理:空气经加热净化后,由引风机从下部导入,穿过料斗的孔网板,在工作室内,经搅拌和负压作用形成流态化,水分快速蒸发后,随着排气带走,物料快速干燥。应用范围:机制螺杆挤压颗粒、摇摆颗粒、湿法高速混合、制
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1307 | 江西九江 |
该设备基于晶圆真空传输平台VTM,可以灵活配备传输腔室和工艺腔室,工艺腔室可选配电子束蒸发腔室、分子束外延腔室、溅射腔室、热蒸发腔室和预清洗腔室等。可实现多种材料的精确沉积。性能参数晶圆尺寸8~12吋
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1962 | 安徽 |
分子束外延设备是实验室中制备高性能单晶材料薄膜的核心设备,可用于制备高性能的氧化物材料、拓扑绝缘体等。系统采用模块化设计方便后续升级维护,可与我司其他设备互联实现多种材料的沉积。
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2022 | 安徽 |
电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗,可用于超导量子等领域,适用于高校及企业研发和小规模生产场合
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1738 | 安徽 |
电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗,可用于超导量子等领域,适用于高校及企业研发和小规模生产场合
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1848 | 安徽 |
脉冲激光沉积设备是高校和科研院所常用的氧化物和多组分薄膜沉积设备,该设备具有简单可靠、运行稳定的特点。PLD-400型脉冲激光沉积设备,标配6个1inch靶材,靶材可以原位更换,配合RHEED和准分子
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1941 | 安徽 |
一、概述气动调节/切断衬里O型球阀(气动衬氟球阀)是由气动执行机构,衬里球阀和定位器(电磁阀)组成,接受4-20mADC或24VDC控制信号,对工艺管路的介质实现比例调节或二位开关控制。它是一种旋转类
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2136 | 浙江 |
真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段,在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。VF-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉,可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火,也可以单独使用。还可以选配磁
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2389 | 安徽 |
MS-200磁控溅射设备是一款小型台面式溅射系统,具有高真空、单原子层沉积精度的特点,可以灵活选择阴极向上或向下溅射。设备标配1个2英寸超高真空阴极。满足简单的材料研究需求。晶圆尺寸4inch向下兼容
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2107 | 安徽 |
一、概述气动衬氟三通球阀是由气动执行机构和衬氟三通球阀组成,它接受24VDC或220VAC电压信号,与电磁阀、气源处理元件及限位开关等附近配套使用,对工艺管路中的介质做合流或分流;三通球阀阀芯分T型和
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2193 | 浙江 |
MS-300磁控溅射设备具有超高真空、单原子层沉积精度的特点,可以灵活选择阴极向上或向下溅射。设备标配3个2英寸超高真空阴极。满足实验室中科学研究的需求,维护简单,运行稳定。
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1677 | 安徽 |
MS-400磁控溅射设备是一款多功能多靶磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度,设备维护简单的特点。MS-400系统标配6个2inch共焦超高真空阴极,满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求,维
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2122 | 安徽 |
一、概述气动衬氟釜底放料阀主要用于储罐、反应釜及其他容器的底部排放物料;阀门采用法兰与设备底部法兰连接,消除工艺介质在釜罐底部积垢残留;气动衬氟釜底阀的结构独特,快速消除物料积垢残留,阀体内腔及阀芯采
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3003 | 浙江 |
MS-700磁控溅射设备是一款具有多功能、多阴极的磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度的特点。可根据需求配置4inch以下的圆形阴极,可选择垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚测量等配置。适用于
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2508 | 安徽 |
一、概述气动调节/切断高温O型球阀(气动高温球阀)是由气动执行机构和高温O型球阀组成,它与定位器或电磁阀、气源处理元件配套使用,接受4-20mADC或24VDC控制信号,对管路中工艺介质作比例调节控制
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1819 | 浙江 |
电动衬里裁止阀是由衬里截上阀和电动执行机构一起组成,阀体内腔和蝶板采用高压村塑工艺,村耐腐位的工程材料,适用在输送严重高蚀性的介团工作场合。
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2267 | 浙江 |
电动衬里隔膜阀是由电动执行机构和衬里阿膜阀机构组成的,它是一种专用控制一般腐蚀性介质的阀门,隔膜结构为无填料函节流元件为弹性隔膜的机构阀体流道平滑,衬里材料或隔膜片均可以采用耐度蚀性材料制作,
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2777 | 浙江 |
真空石墨炉采用高纯石墨作发热体,WRe热电偶作测温元件,用精密数显程序控温仪控温,能实现炉温的自动程序升降。由二级真空机组对炉膛进行抽真空,可实现样品的真空烧结,同时也可注入保护气氛或反应气氛作气压高
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3377 | 湖南湘潭 |
为实现水轮机自动化控制程序及现场安装需要,一般工况下全套水轮机进口阀成套产品应由以下部件组成1、阀前短管2、手动检修阀3、旁通伸缩节4、电动旁通阀5、主阀6、压差控制器7、主阀伸缩节8、排气阀9、压力
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1812 | 浙江 |
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