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天然气制氢纯化ZQ-NPI系列是一款可匹配天然气重整制氢,同时具有控温系统、控压系统和流量监测模块于一体的高精度氢气纯化设备,可实现全自动化控制,并为用氢端稳定提供高纯氢,标准化设备额定产氨量为5-6
 
2002 安徽
氨裂解制氢纯化ZQ-API系列是针对氨裂解制氢低压高温特点开发的纯化设备。该设备基于膜分离技术对粗氢进行氢气分离和纯化,可满足不同工况下氨裂解制氢纯化需求,并为用氢端稳定提供高纯氢。设备主要用于氨现场
 
1832 安徽
甲醇重整制氢纯化ZQ-MPI系列是依托芜湖中氢新能源科技有限公司的研发等团队针对甲醇重整制氢特点开发的纯化设备。该设备基于膜分离技术对重整气进行氢气分离和纯化,可满足多工况下甲醇重整制氢纯化需求,并为
 
2080 安徽
超纯氢气发生器ZQH-P系列是芜湖中氢新能源科技有限公司自主研发的设备,采用PEM电解水制氢+膜分离技术,仅需加入去离子水,通过水电解和膜提纯,制备超纯氢气,提供安全运行、高稳定性、高性能和低成本的完
 
2717 安徽
超纯氢气纯化ZQH-M系列是芜湖中氢新能源科技有限公司自主研发的设备,可针对电解水制氢和瓶装粗氢等多种来源的含氢原料气,实现全自动化超纯氢制备,能够充分发挥膜提纯方式的经济、高效和稳定等优势,性能达到
 
2097 安徽
产品性能:应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE(GaN工艺)废气处理多级喷淋,使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质,以达到有毒腐蚀气体的回收,达标气体的安全排放处理能力,科研型:50
 
1845 山东
产品性能:“热解+分解”方式,节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气,将SiH4进行高温热解,将NH3直接进行分解,无需氨水处理,无需燃气。处理能力,生产型:400/600/1000/1500
 
2069 山东
产品性能:可实现高真空/常压/正压及压力控制下的精密热处理,可带手套箱高均匀性,高可靠性,高精度操作便捷,维护成本低,适应小批量生产及特殊研发项目
 
1917 山东
氢破炉/氮化炉主要用于高性能稀土永磁材料如钕铁硼等磁性材料精细制粉工艺,,以及高性能磁性材料和功能性材料的氮化处理工艺等。产品性能:水平结构,外热旋转,优化的反应室结构设计,操作便利可带手套箱,研发型
 
2262 山东
垂直双室真空气氛炉主要用于高性能钐钴、钕铁硼等磁性材料的精密真空气氛烧结、退火(含快冷)等工艺。产品性能:垂直双室结构(工艺腔、装卸料冷却腔)
 
1732 山东
水平多室真空气氛炉主要用于高性能钐钴、钕铁硼等磁性材料、功能材料的精密真空气氛烧结、退火(快冷)等工艺。产品性能:双室/多室结构(工艺腔、装卸料冷却腔),烧结容积大,生产效率高石墨/钼等高温加热,内循
 
1755 山东
垂直真空气氛炉主要用于钐钴、钕铁硼磁性材料及功能材料的精密真空气氛烧结、退火、时效(快冷)等工艺。产品性能:真空度:10-3/10-4Pa~正压(0.4MPa)温区均匀性好,控温精度高,可快速冷却工作
 
2155 山东
水平真空气氛炉主要用于钐钴、钕铁硼等磁性材料、功能材料的精密真空气氛烧结、退火(快冷)等工艺。产品性能;内热式,多面加热,石墨/钨钼/RF等加热,高温度均匀性高真空度(10-4Pa~0.5/10MPa
 
1950 山东
主要用于半导体功率器件、电力电子器件、精密材料、高性能新材料(如陶瓷、陶瓷金属化等)的真空/气氛热处理(如烧结、封装、退火、时效等)等工艺。产品性能:200~1350℃/1600℃,6/3点控温钼(或
 
1801 山东
水平LPCVD是高质量大批量大尺寸石墨烯CVD法生长专用设备,多种工艺气体、生长压力、工艺温度、工艺过程计算机全自动控制。该设备亦可其他大衬底LPCVD法成膜沉积工艺
 
1988 山东
温度:500~2500℃,高温电阻/感应加热器,优化热场设计多温区石墨坩埚,升降,提拉,等径控制等腔体压力:1-10MPa,高压容器设计、制造及检测工艺类型:提拉、PVT
 
1793 山东
全自动机械手装卸,悬臂/软着陆晶圆自动倒片,完整的工厂MES系统对接,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
 
1857 山东
产品性能:2~12寸晶圆工艺,5~25片/批占地面积小,水平多管/垂直单管200~1300℃/1400℃/2200℃(高温)
 
1774 山东
配套工艺:多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSGTEOS,LTO,HTO,SIPOS...
 
1673 山东
设备特点:*优化结构设计占地面积小*灵活多样的工艺调整*高温精确控制,极高的可靠性*高洁净度,极低维护使用成本
 
2050 山东