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对于表面积只有几个平方米的样品，其吸附量很小，吸附引起的系统压力变化过小，因而测量的精确度变差。因此，气体吸附法测量低表面积固体不但需要选择在实验温度下饱和蒸汽压较小的吸附质，而且还要提高压力测量的灵敏度。在液氮温度下，氪和氙的饱和蒸汽压较低，现在常用来作测量低表面积固体的吸附质。